Laboratórium tenkovrstvových senzorov

Kontakt: ivan.hotovy@stuba.sk

Technické vybavenie/zariadenia

• Zariadenie na meranie a testovanie smart senzorov: PLV 50 (Cascade) s príslušenstvom
• Depozičné zariadenia s magnetrónovými zdrojmi (Balzers)
• Depozičné a leptacie zariadenie typu PE CVD, CVD/ICP, RIE, RIE/ICP. Vakutec 310/320 (FHR)
• Expozičné zariadenie pre optickú litografiu: KSM MJB 3HP (Karl Suss),

Technológie

• na návrh, simuláciu, experimentálnu prípravu  a vývoj tenkovrstvových senzorických štruktúr a mikrosystémov

Servis/služby

• testovanie elektrických vlastností senzorov a mikrosystémov vo vákuu a pri zvýšených teplotách do 300°C
• plazmatické leptanie a tvarovanie nanoštruktúrnych motívov s výkonným ICP zdrojom

Vzdelávanie

• v oblasti moderných technológií prípravy a leptania vrstiev a v oblasti návrhu a vývoja senzorov a mikrosystémov